Chinese Standard: GB/T 36176-2018

Vacuum technology—Vacuum leak testing method by helium mass spectrometer

全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18)

本标准规定了氦质谱真空检漏方法实施的一般要求，三种常用的氦质谱真空检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。

本标准适用于各行业中采用氦质谱真空检漏方法的部件、组件、分系统级以及系统级产品。

This standard is the original Chinese electronic standard.
After you successfully purchase, we will send the electronic version of this standard to your email address.
If you need translation, please contact email: ChineseStandardsLibraryS001@gmail.com.