Cleanrooms and associated controlled environments—Guidelines for airborne chemical contamination control
全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)
本标准提出了洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制的检测、控制等指南。
本标准适用于微电子、光电子工厂以及特殊需求的生产、研究等洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制。
本标准不适用于核能和军事应用。
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