Test method for alpha crystalline silicon dioxide content of spherical silica powder for electronic packaging—XRD method
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
本标准规定了电子封装用球形二氧化硅微粉中α态晶体二氧化硅含量的XRD测试方法。
本标准适用于电子封装用球形二氧化硅微粉中检测α态晶体二氧化硅含量，其他无定形二氧化硅含量的检测也可参照本标准执行。α态晶体二氧化硅含量测试范围0.5%以下半定量分析，0.5%~5%定量分析。
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