Chinese Standard: GB/T 36656-2018

Electronic grade triethylgallium

全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

本标准规定了三乙基镓的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、储存和安全。
本标准适用于镓镁合金法、三氯化镓法、格式试剂法三种化学合成法制备并经精制纯化的三乙基镓。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。
分子式：C6H15Ga
相对分子质量：156.91(按2013年国际相对原子质量计算)

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