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Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM
Standard in brief
Scope of Application：
本文件规定了基于模型数据库(MBL)方法通过测长扫描电子显微镜(CD-SEM)成像来测定晶圆和光掩膜的关键尺寸(CD)值所需的结构模型、相关参数、文件格式和拟合程序。
本文件适用于试样的线宽测定，如晶圆上的栅极、光掩膜、单个孤立或密集排列的线特征图案，最小达10 nm。
Basic information
Standard No：GB/T 46057-2025
Standard Name：微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法
English Name：Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM
Standard Status：现行
Release Date：2025-08-29
Effective Date：2026-03-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：71.040.40
CCS Number：G04
Related Standards
Adopted Standards：ISO 21466:2019
Adopted Standard Name：《微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法》
Adoption Level：IDT
Publication Information
Number of pages：52
Number of words：79 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2025-08-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：46057
Drafter：丁泽军、陆大宝、邹艳波、毛世峰、李永钢、李会民
Drafting Organization：中国科学技术大学、新疆师范大学、中国科学院合肥物质科学研究院、安徽大学
Management Organization：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
Proposing Department：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
