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Micro nano standard samples (geometric)
Standard in brief
Scope of Application：
本标准规定了微纳米标准样板（几何量）的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方法、标志、运输及储存等。
本标准适用于线间隔为0.05 μm~10 μm的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为0.01 μm~100 μm的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为2 nm~1 000 nm的纳米膜厚标准样板和线宽为25 nm~1 000 nm的纳米线宽标准样板。
Basic information
Standard No：GB/T 39516-2020
Standard Name：微纳米标准样板(几何量)
English Name：Micro nano standard samples (geometric)
Standard Status：现行
Release Date：2020-11-19
Effective Date：2021-06-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：17.040.30
CCS Number：J42
Related Standards
Referenced Standards：GB/T 17163-2008,GB/T 25915.1-2010
Publication Information
Number of pages：24
Number of words：36 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2020-11-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：39516
Drafter：李锁印、付兴昌、梁法国、韩志国、赵琳、冯亚南、许晓青、张晓东、姜志刚、许刚、苏冀雄、张恒、雷李华、赵军、张松涛、蔡潇雨、傅云霞
Drafting Organization：中国电子科技集团公司第十三研究所、成都工具研究所有限公司、广西壮族自治区计量检测研究院、中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、中国计量大学、珠海市怡信测量科技有限公司
Management Organization：全国量具量仪标准化技术委员会(SAC/TC 132)
Proposing Department：中国机械工业联合会
