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Micro-electromechanical system technology—General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
Standard in brief
Scope of Application：
本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。
本标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。
Basic information
Standard No：GB/T 26113-2010
Standard Name：微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则
English Name：Micro-electromechanical system technology—General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
Standard Status：现行
Release Date：2011-01-10
Effective Date：2011-10-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：31.200
CCS Number：L55
Related Standards
Referenced Standards：GB/T 3505,GB/T 18779.2,GB/T 26111
Publication Information
Number of pages：16
Number of words：18 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2011-02-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：26113
Drafter：丁红宇、张苹、刘伟、蒋庄德、景蔚萱、胡晓东、赵则祥
Drafting Organization：中机生产力促进中心、西安交通大学、天津大学、中原工学院
Management Organization：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
Proposing Department：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
