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Electronic specialty gas—Fluoromethane
Standard in brief
Scope of Application：
本文件规定了电子级氟甲烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输及贮存的要求。
本文件适用于由工业氟甲烷提纯制备的电子级氟甲烷。
Basic information
Standard No：GB/T 40418-2021
Standard Name：电子特气 氟甲烷
English Name：Electronic specialty gas—Fluoromethane
Standard Status：现行
Release Date：2021-08-20
Effective Date：2022-03-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：71.100.20
CCS Number：G86
Related Standards
Referenced Standards：GB 190,GB/T 601,GB/T 603,GB/T 3723,GB/T 5099(所有部分),GB/T 5832.1,GB/T 6682,GB/T 7144,GB/T 14193,GB 15258,GB/T 16804,GB/T 28726,GB/T 33145,TSG R0005,TSG 23
Publication Information
Number of pages：16
Number of words：22 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2021-08-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：40418
Drafter：史婉君、张建君、方小青、孙福楠、付梦月、侯玲玲、郑秋艳、董云海、谭慧、褚人财、颜光清、何经余、曹素英、傅铸红、陈艳珊、马建修、程紧、叶相平、王新喜、孙猛、陈洁、吴靓、方华、孙赟珑、何波、黄小强、黄辉、宫兵、王大为、易达文、李阳、梁永强、梁成科、高静、吴克安、白占旗、徐娇、叶树全、赖晓峰、方艾黎、周鹏云、张亮
Drafting Organization：浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、衢州氟硅技术研究院、中化蓝天氟材料有限公司、福建久策气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、江西华特电子化学品有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体(上海)有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司
Management Organization：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
Proposing Department：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
