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Test method for thickness of heteroepitaxy layers and polycrystalline layers
Standard in brief
Scope of Application：
本标准规定了异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法。
本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100 nm的异质外延层和硅多晶层的厚度测量范围为1 μm~100 μm。
Basic information
Standard No：YS/T 14-2015
Standard Name：异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
English Name：Test method for thickness of heteroepitaxy layers and polycrystalline layers
Standard Status：现行
Release Date：1991-01-01
Effective Date：2015-10-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：77.040
CCS Number：H21
Related Standards
Referenced Standards：GB/T 6617,GB/T 14264,GB/T 14847
Publication Information
Number of pages：8
Number of words：8 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2016-04-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：中华人民共和国工业和信息化部
Standard Type：QT
Standard Attribute：YS
Other Standard Number：14
Drafter：马林宝、杨帆、葛华、刘小青、孙燕、徐新华
Drafting Organization：南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
Management Organization：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
Proposing Department：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
