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Nanotechnology—Carbon nanotube probe scanning microscopy—Measurement of high aspect ratio micro-nano structures
Standard in brief
Scope of Application：
本文件描述了利用碳纳米管探针测量大深宽比微纳结构的方法，包括基本原理、测试条件和所需设备等，规定了碳纳米管探针的参数范围和对样品的要求，确立了测量步骤。
本文件适用于硬质样品，且深宽比范围在1~10，最小水平线宽不小于碳纳米管直径2倍的微纳结构测量，其他样品的测量参照使用。
Basic information
Standard No：GB/T 48076-2026
Standard Name：纳米技术 碳纳米管探针扫描显微术 大深宽比微纳结构测量
English Name：Nanotechnology—Carbon nanotube probe scanning microscopy—Measurement of high aspect ratio micro-nano structures
Standard Status：即将实施
Release Date：2026-08-28
Effective Date：2027-03-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：07.120
CCS Number：J04
Related Standards
Referenced Standards：GB/T 42659-2023
Publication Information
Number of pages：20
Number of words：21 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2026-08-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：48076
Drafter：杨树明、张国锋、吉培瑞、李适、李伟、崔波、贾宪生
Drafting Organization：西安交通大学、中国计量科学研究院、探真纳米科技(衢州)有限公司
Management Organization：全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
Proposing Department：中国科学院
