GB/T 47725-2026 is the Chinese version electronic standard. After you successfully purchase, we will send the electronic version of this standard to your email address. If you have any question, please contact email: ChineseStandardsLibraryS001@gmail.com.
Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Requirements for reliability evaluation of three-dimensional structureof through-silicon vias
Standard in brief
Scope of Application：
本文件规定了微机电系统（MEMS）中硅通孔三维结构可靠性评价的样品、失效模式分类及可靠性评价项目，以及参数评价、内外部形貌评价、热应力特性评价、电应力特性评价、机械特性评价、互连特性评价和三维结构评价的要求。
本文件适用于单层或多层堆叠的TSV三维结构的可靠性评价，其中的TSV结构可以是仅通孔侧壁有金属、孔内部填实金属或孔局部填实金属。
Basic information
Standard No：GB/T 47725-2026
Standard Name：微机电系统(MEMS)技术 硅通孔三维结构可靠性评价要求
English Name：Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Requirements for reliability evaluation of three-dimensional structureof through-silicon vias
Standard Status：即将实施
Release Date：2026-05-25
Effective Date：2026-12-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：31.200
CCS Number：L55
Related Standards
Referenced Standards：GB/T 2423.2,GB/T 2423.5,GB/T 2423.15,GB/T 2423.22,GB/T 3488.1,GB/T 4937.4,GB/T 4937.12,GB/T 4937.19,GB/T 4937.22,GB/T 4937.23,GB/T 17359,GB/T 26111,GB/T 43536.1,GB/T 45718,GB/T 45722
Publication Information
Number of pages：32
Number of words：50 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2026-05-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：47725
Drafter：朱健、李根梓、黄旼、郁元卫、吴静、张笑天、崔荣、吴维丽、陈思、杜林、董树荣、马盛林、关赫、轩伟鹏、侯晓伟、胡永刚、赵嘉昊、陈志文、焦斌斌、李男男、吴林晟、张树民、崔伟、陈豪翔、邹洁、江丽娟、张南
Drafting Organization：中国电子科技集团公司第五十五研究所、中机生产力促进中心有限公司、工业和信息化部电子第五研究所、上海航天技术基础研究所、浙江大学、厦门大学、西北工业大学、杭州电子科技大学、宁波中车时代传感器技术有限公司、无锡华润上华科技有限公司、清华大学、武汉大学、中国科学院微电子研究所、中国航天时代电子有限公司、上海交通大学、左蓝微(江苏)电子技术有限公司、联合微电子中心有限责任公司、东莞理工学院、深圳新声半导体有限公司、深圳市英唐智能控制股份有限公司、山东国创微纳制造研究院有限公司
Management Organization：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)、全国集成电路标准化技术委员会(SAC/TC 599)
Proposing Department：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
