GB/T 47767-2026 is the Chinese version electronic standard. After you successfully purchase, we will send the electronic version of this standard to your email address. If you have any question, please contact email: ChineseStandardsLibraryS001@gmail.com.
Micro-electromechanical systems technology—Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever
Standard in brief
Scope of Application：
微悬臂梁是微传感器和微执行器的典型结构，为了获得具有微器件结构的压电薄膜的实际和精确的压电系数。本文件描述了微悬臂梁上压电薄膜机电转换特性的测试方法。本文件适用于通过MEMS工艺制造的微悬臂上的压电薄膜机电转换特性的测试，适用于消费者、工业或任何其他压电器件的应用。
Basic information
Standard No：GB/T 47767-2026
Standard Name：微机电系统(MEMS)技术 压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法
English Name：Micro-electromechanical systems technology—Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever
Standard Status：即将实施
Release Date：2026-07-02
Effective Date：2027-02-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：31.080.99
CCS Number：L59
Related Standards
Adopted Standards：IEC 62047-42:2022
Adopted Standard Name：《半导体器件 微机电器件 第42部分:柔压电式微机电悬臂梁机电转换特性的测量方法》
Adoption Level：IDT
Publication Information
Number of pages：24
Number of words：33 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：Yes
Print Publication Date：2026-07-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：47767
Drafter：余燕、李根梓、史进东、王俊强、杨浩、马卓标、曹诗亮、卢奕鹏、张革、方东明、张云辉、张舒楠、王科、程宇心、王春举、卢敏仪、夏长奉、周再发、闫晓剑、熊贵林、董接莲
Drafting Organization：合肥华凌股份有限公司、中机生产力促进中心有限公司、宁波科联电子有限公司、中北大学、长虹美菱股份有限公司、广州自平测控科技有限公司、海信集团控股股份有限公司、上海新微技术研发中心有限公司、无锡小天鹅电器有限公司、北京智芯微电子科技有限公司、北京晨晶电子有限公司、广州天极电子科技股份有限公司、无锡华润上华科技有限公司、西北工业大学、东南大学、成都航天凯特机电科技有限公司、中国电力科学研究院有限公司、北京大学、苏州大学、四川长虹虹微科技有限公司、美的集团股份有限公司、无锡吴越物芯科技有限公司
Management Organization：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)、全国集成电路标准化技术委员会(SAC/TC 599)
Proposing Department：国家标准化管理委员会
