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Polished single-crystal diamond wafers
Standard in brief
Scope of Application：
本文件规定了金刚石单晶抛光片的分类和牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。
本文件适用于微波等离子化学气相沉积(MPCVD)制备的金刚石单晶抛光片的生产、检验与质量评价。
Basic information
Standard No：GB/T 47902-2026
Standard Name：金刚石单晶抛光片
English Name：Polished single-crystal diamond wafers
Standard Status：即将实施
Release Date：2026-07-02
Effective Date：2027-02-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：29.045
CCS Number：H82
Related Standards
Referenced Standards：GB/T 1555,GB/T 2828.1-2012,GB/T 4339,GB/T 6618,GB/T 6624,GB/T 14264,GB/T 22588,GB/T 29505,GB/T 46227,GB/T 47080
Publication Information
Number of pages：12
Number of words：13 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2026-07-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：47902
Drafter：刘留、尹士平、耿方娟、欧琳芳、贺东江、王少龙、李素青、于金凤、赵继文、朱嘉琦、金鹏、王阳、霍晓迪、王琦、惠峰、寇明虎、王希杰、冯参军、彭献伟、高礼明、吕继磊、王来福、孙方远、刘永、朱赞芳、付安庆、王志强
Drafting Organization：安徽光智科技有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中国石油集团工程材料研究院有限公司、浙江先导微电子科技有限公司、河南碳真芯材科技有限公司、哈尔滨工业大学、中国科学院半导体研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所、德州学院、北京大学东莞光电研究院、云南鑫耀半导体材料有限公司、北京特思迪半导体设备有限公司、河北蓝思泰克光电科技有限公司、河南鸿泰钻石科技有限公司、河南平煤神马超硬材料股份有限公司、河南路纳尔新材料有限公司、湖北碳六科技有限公司、河南省惠丰金刚石有限公司、昊远精测光电科技(上海)有限公司、深圳市常兴技术股份有限公司、广东先导稀材股份有限公司
Management Organization：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
Proposing Department：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
