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Fine ceramics—Test method for crystalline quality of single-crystal thin film(wafer)using XRD method with parallel X-ray beam
Standard in brief
Scope of Application：
本文件描述了采用平行光束X射线衍射法测定单晶薄膜(晶圆)结晶质量的方法。
本文件适用于所有块体或外延层结构的单晶薄膜(晶圆)使用光束X射线衍射法的结晶质量的测定。
Basic information
Standard No：GB/T 47625-2026
Standard Name：精细陶瓷 平行光束X射线衍射法测定单晶薄膜(晶圆)结晶质量
English Name：Fine ceramics—Test method for crystalline quality of single-crystal thin film(wafer)using XRD method with parallel X-ray beam
Standard Status：即将实施
Release Date：2026-05-25
Effective Date：2026-12-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：81.060.30
CCS Number：Q30
Related Standards
Adopted Standards：ISO 22278:2020
Adopted Standard Name：《精细陶瓷(先进陶瓷、先进技术陶瓷) 平行光束X射线衍射法测定单晶薄膜(晶圆)结晶质量》
Adoption Level：IDT
Publication Information
Number of pages：36
Number of words：50 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2026-05-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：47625
Drafter：赵升升、张小波、包亦望、谭晓逸、白敬胜、万德田、王增辉、王红英、宋小平、王邃、王洪升、裴郁、吴春生、李俊克、张萌、王陶、张亚萍、何彩梅、张旭亮、招刚、骆丽平
Drafting Organization：深圳职业技术大学、深圳市速普仪器有限公司、昆明理工大学、季华实验室、中材新材料研究院(广州)有限公司、中材高新材料股份有限公司、上海超硅半导体股份有限公司、山东工业陶瓷研究设计院有限公司、中国质量标准出版传媒有限公司、绍兴芯纪源电子科技有限公司、京隆科技(苏州)有限公司、深圳市东汇精密机电有限公司、深圳市防伪溯源协会
Management Organization：全国工业陶瓷标准化技术委员会(SAC/TC 194)
Proposing Department：中国建筑材料联合会
