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Monocrystalline silicon etched wafers
Standard in brief
Scope of Application：
本标准规定了硅单晶腐蚀片的牌号及分类、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。
本标准适用于直拉法、悬浮区熔法（包括区熔中子嬗变和气相掺杂）制备的硅单晶研磨片经化学腐蚀液去除表面损伤层后制备的酸腐蚀片和碱腐蚀片（以下简称腐蚀片）。产品主要用于制作晶体管、整流管、特大功率晶闸管、光电器件等半导体元器件或进一步加工成硅抛光片。
Basic information
Standard No：YS/T 1167-2016
Standard Name：硅单晶腐蚀片
English Name：Monocrystalline silicon etched wafers
Standard Status：现行
Release Date：2016-07-11
Effective Date：2017-01-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：29.045
CCS Number：H82
Related Standards
Referenced Standards：GB/T 1550,GB/T 1555,GB/T 2828.1,GB/T 6616,GB/T 6618,GB/T 6620,GB/T 11073,GB/T 12962,GB/T 12965,GB/T 13387,GB/T 13388,GB/T 14140,GB/T 14264,GB/T 14844,GB/T 20503,GB/T 26067,GB/T 29505,GB/T 30453,YS/T 26,YS/T 28
Publication Information
Number of pages：12
Number of words：18 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：Yes
Print Publication Date：2018-09-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：中华人民共和国工业和信息化部
Standard Type：QT
Standard Attribute：YS
Other Standard Number：1167
Drafter：由佰玲、张雪囡、蒋建国、孙燕、王飞尧、沈浩平
Drafting Organization：天津市环欧半导体材料技术有限公司、天津中环领先材料技术有限公司、洛阳鸿泰半导体有限公司、有研半导体材料有限公司、杭州海纳半导体有限公司
Management Organization：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
Proposing Department：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
