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Requirements for wafer carrier handoff parallel I/O interface
Standard in brief
Scope of Application：
本文件规定了晶片承载器自动传送并行输入/输出接口的信号定义、信号传送要求、异常处理，以及连接器和传感器的要求。
本文件适用于半导体制造领域、用于晶片承载器往返于主动型设备和被动型设备之间的自动传送操作。
Basic information
Standard No：GB/T 44631-2024
Standard Name：晶片承载器传输并行接口要求
English Name：Requirements for wafer carrier handoff parallel I/O interface
Standard Status：现行
Release Date：2024-09-29
Effective Date：2025-04-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：31.260
CCS Number：L97
Related Standards
Referenced Standards：GB/T 15125-1994
Publication Information
Number of pages：40
Number of words：61 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2024-09-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：44631
Drafter：程朝阳、田涛、赵俊莎、孙岩、曹可慰、吴怡然、李英、钟结实、张宝帅、李殿浦、蔡书义、王凯、郭训容、刘学庆、武小娟
Drafting Organization：北京北方华创微电子装备有限公司、中国电子技术标准化研究院、漳州市太龙照明工程有限公司、浙江中聚材料有限公司
Management Organization：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
Proposing Department：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
