$29
This standard is the Chinese version electronic standard. After you successfully purchase, we will send the electronic version of this standard to your email address. If you have any question, please contact email: ChineseStandardsLibraryS001@gmail.com.
Polished mono-crystalline sapphire substrate wafer
Standard in brief
Scope of Application:
本文件规定了蓝宝石单晶衬底抛光片(以下简称“蓝宝石衬底片”)的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。
本文件适用于直径不大于200 mm的蓝宝石衬底片。产品主要用于外延生长半导体薄膜、生产蓝宝石图形化衬底、蓝宝石键合衬底等。
Basic information
Standard No:GB/T 30858-2025
Standard Name:蓝宝石单晶衬底抛光片
English Name:Polished mono-crystalline sapphire substrate wafer
Standard Status:现行
Release Date:2014-07-24
Effective Date:2026-05-01
Language of Publication:中文简体
Standard Classification
ICS Number:29.045
CCS Number:H83
Related Standards
Referenced Standards:GB/T 1031,GB/T 2828.1-2012,GB/T 6624,GB/T 13387,GB/T 14140,GB/T 14264,GB/T 19921,GB/T 25915.1-2021,GB/T 29505,GB/T 30857,GB/T 31092,GB/T 31352,GB/T 31353,GB/T 33236,GB/T 33763,GB/T 34210,GB/T 34612,YS/T 26
Publication Information
Number of pages:16
Number of words:21 K
Format:大16
Edition:1
Color Pages:0
Electronic Version:Yes
Color Images:No
Print Publication Date:2025-10-01
Standard Revision Information
Has Amendment:No
Other Information
Application Dept:国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type:CN
Standard Attribute:GB
Other Standard Number:30858
Drafter:鲁雅荣、杨诗音、康森、李素青、郑东、杭寅、张能、陆椿、韩凤兰、李宁、武金龙、董福元、陈斌
Drafting Organization:天通银厦新材料有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、青岛华芯晶电科技有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、广东中图半导体科技股份有限公司、徐州凯成科技有限公司、宁夏材料研究学会、北方民族大学、深圳中机新材料有限公司
Management Organization:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
Proposing Department:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)