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Determination of total carbon content in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method
Standard in brief
Scope of Application：
本标准规定了硅外延用三氯氢硅中总碳含量的气相色谱测定方法。
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.000 05%～0.005%。
Basic information
Standard No：YS/T 1059-2015
Standard Name：硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法
English Name：Determination of total carbon content in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method
Standard Status：现行
Release Date：2015-04-30
Effective Date：2015-10-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：77.040.30
CCS Number：H17
Publication Information
Number of pages：12
Number of words：12 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2015-12-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：中华人民共和国工业和信息化部
Standard Type：QT
Standard Attribute：YS
Other Standard Number：1059
Drafter：刘英杰、郑华荣、柯尊斌、刘新军、赵建为、王桃霞、张京、张云晖、杨红燕、陈喜清、杨帅
Drafting Organization：中锗科技有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司
Management Organization：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
Proposing Department：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
