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Vacuum technology—Sputter-ion pumps—Measurement of performance characteristics
Standard in brief
Scope of Application：
本标准规定了溅射离子泵（以下简称离子泵）性能参数的测量方法。
本标准适用于名义体积流率大于10 L/s的离子泵。
本标准测量体积流率的压力范围从1.5×10-3 Pa到1×10-7 Pa。
注： 本标准保证了离子泵性能参数的测量在相同的条件下按相同的方法进行。由此做到由各制造厂家或各实验室所作的测量与制造厂家在样本中给定的资料是可比的。
Basic information
Standard No：GB/T 25755-2010
Standard Name：真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
English Name：Vacuum technology—Sputter-ion pumps—Measurement of performance characteristics
Standard Status：现行
Release Date：2010-12-23
Effective Date：2011-10-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：23.160
CCS Number：J78
Related Standards
Referenced Standards：GB/T 3163
Publication Information
Number of pages：16
Number of words：19 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2011-08-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：25755
Drafter：邹蒙、张勤德、朱国精、马殿理、李春影
Drafting Organization：北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所
Management Organization：全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18)
Proposing Department：中国机械工业联合会
