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Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation
Standard in brief
Scope of Application：
本文件描述了离子束辐照诱导应变技术构建三维纳米结构与器件的加工方法，主要包括加工原理、材料与设备、环境条件、加工方法。本文件适用于离子束辐照诱导直立纳米线和平面纳米薄膜的空间应变，进而实现三维空间中由一维纳米线和二维纳米薄膜构成的三维纳米结构与器件。
Basic information
Standard No：GB/T 42106-2022
Standard Name：纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
English Name：Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation
Standard Status：现行
Release Date：2022-12-30
Effective Date：2023-07-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：07.030
CCS Number：A42
Related Standards
Referenced Standards：GB/T 6682
Publication Information
Number of pages：12
Number of words：22 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2023-01-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：42106
Drafter：顾长志、杨海方、李俊杰、刘前、王益群、樊阳波
Drafting Organization：中国科学院物理研究所、国家纳米科学中心、深圳市标准技术研究院
Management Organization：全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
Proposing Department：中国科学院
