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Polished monocrystalline silicon carbide wafers
Standard in brief
Scope of Application：
本文件规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的牌号及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。本文件适用于生产电力电子器件、射频微波器件及LED发光器件的外延材料用碳化硅单晶抛光片。
Basic information
Standard No：GB/T 30656-2023
Standard Name：碳化硅单晶抛光片
English Name：Polished monocrystalline silicon carbide wafers
Standard Status：现行
Release Date：2014-12-31
Effective Date：2023-10-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：29.045
CCS Number：H83
Related Standards
Referenced Standards：GB/T 1555,GB/T 2828.1-2012,GB/T 6616,GB/T 6624,GB/T 13387,GB/T 13388,GB/T 14264,GB/T 25915.1-2021,GB/T 26067,GB/T 29505,GB/T 30866,GB/T 30867,GB/T 31351,GB/T 32188,GB/T 32278,GB/T 42271,GB/T 41765
Publication Information
Number of pages：20
Number of words：34 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：Yes
Print Publication Date：2023-03-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：30656
Drafter：陈小龙、彭同华、佘宗静、王波、刘春俊、李素青、郭钰、娄艳芳、郑红军、杨建、骆红、钮应喜
Drafting Organization：北京天科合达半导体股份有限公司、中国科学院物理研究所、南京国盛电子有限公司、安徽长飞先进半导体有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司
Management Organization：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
Proposing Department：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
