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Surface chemical analysis—Sputter depth profiling—Optimization using layered systems as reference materials
Standard in brief
Scope of Application：
本文件提供了使用适当的单层和多层参考物质优化溅射深度分析参数的指导和要求，以便优化俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱中的仪器设置，实现最佳深度分辨。
本文件不涵盖特殊多层膜系（例如δ掺杂层）的使用。
Basic information
Standard No：GB/T 20175-2025
Standard Name：表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
English Name：Surface chemical analysis—Sputter depth profiling—Optimization using layered systems as reference materials
Standard Status：现行
Release Date：2006-03-27
Effective Date：2026-01-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：71.040.40
CCS Number：G04
Related Standards
Referenced Standards：ISO 18115-1
Adopted Standards：ISO 14606:2022
Adopted Standard Name：《表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法》
Adoption Level：IDT
Publication Information
Number of pages：24
Number of words：30 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2025-06-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：20175
Drafter：李展平、郭冲、章宇娟、刘婕、满瀚泽、孙令辉、徐建业、李芹、马静怡、周凌、胡小康、陈建、伏晓国
Drafting Organization：清华大学、中国矿业大学(北京)、中国人民公安大学、北京大学、中山大学、中国工程物理研究院材料研究所
Management Organization：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
Proposing Department：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
