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Platinum target
Standard in brief
Scope of Application：
本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。
本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材（以下简称铂靶），其他用途的铂靶材也可参照使用。
Basic information
Standard No：YS/T 791-2012
Standard Name：铂靶
English Name：Platinum target
Standard Status：现行
Release Date：2012-11-07
Effective Date：2013-03-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：77.120.99
CCS Number：H68
Related Standards
Referenced Standards：GB/T 1182,GB/T 1419-2004,GB/T 15077-2008
Publication Information
Number of pages：8
Number of words：7 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2013-03-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：中华人民共和国工业和信息化部
Standard Type：QT
Standard Attribute：YS
Other Standard Number：791
Drafter：王永辉、朱晓光、杨永刚、杨华、程轶欧、雷继锋、熊晓东、江轩
Drafting Organization：有研亿金新材料股份有限公司
Management Organization：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
