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Specification for serial alphanumeric marking of the front surface of wafers
Standard in brief
Scope of Application：
本标准定义了标记包括字母数字的几何尺寸和空间位置尤其适用于带参考面和带缺口的硅抛光片。
本标准不涉及制作标记的技术。
Basic information
Standard No：YS/T 986-2014
Standard Name：晶片正面系列字母数字标志规范
English Name：Specification for serial alphanumeric marking of the front surface of wafers
Standard Status：现行
Release Date：2014-10-14
Effective Date：2015-04-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：29.045
CCS Number：H80
Related Standards
Referenced Standards：SEMI M13,SEMI AUX001,SEMI AUX015
Adopted Standards：SEMI M12-0706
Adopted Standard Name：《晶片正面系列字母数字标志规范》
Adoption Level：IDT
Publication Information
Number of pages：16
Number of words：20 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2015-02-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：中华人民共和国工业和信息化部
Standard Type：QT
Standard Attribute：YS
Other Standard Number：986
Drafter：张静、边永智、孙燕、鲁进军、楼春兰、王飞尧、何良恩、张海英
Drafting Organization：有研半导体材料股份有限公司、杭州海纳半导体有限公司、万向硅峰电子股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司
Management Organization：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
