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Micro-electromechanical system technology—Terms
Standard in brief
Scope of Application：
本文件界定了微机电系统器件及其生产工艺相关的术语和定义。本文件适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
Basic information
Standard No：GB/T 26111-2023
Standard Name：微机电系统(MEMS)技术 术语
English Name：Micro-electromechanical system technology—Terms
Standard Status：现行
Release Date：2010-01-01
Effective Date：2023-09-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：31.080.99
CCS Number：L59
Related Standards
Adopted Standards：IEC 62047-1:2016
Adopted Standard Name：《半导体器件 微机电器件 第1部分:术语和定义》
Adoption Level：MOD
Publication Information
Number of pages：40
Number of words：72 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2023-05-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：26111
Drafter：顾枫、宋秀敏、李根梓、孙立宁、张大成、夏长奉、夏善红、董全林、张卫平、胡晓东、刘会聪、邢朝洋、刘奎、熊斌、张永斌、张威、崔波、陈得民、王玮冰、明志茂、李晓波、SHUMINZHANG、张宾、张胜兵、杨飞、高峰
Drafting Organization：中机生产力促进中心有限公司、西安知微传感技术有限公司、苏州大学、北京大学、无锡华润上华科技有限公司、中国科学院空天信息创新研究院、北京航空航天大学、上海交通大学、天津大学、北京航天控制仪器研究所、西安现代控制技术研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、北京晨晶电子有限公司、天津新智感知科技有限公司、 中国电子科技集团公司第十三研究所、中国科学院微电子研究所、广州广电计量检测股份有限公司、南京高华科技股份有限公司、杭州左蓝微电子技术有限公司、广州奥松电子股份有限公司、华东光电集成器件研究所、江苏普诺威电子股份有限公司、明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司
Management Organization：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
Proposing Department：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
