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Electronic grade ethyl orthosilicate
Standard in brief
Scope of Application：
本文件规定了半导体行业用电子级正硅酸乙酯的技术要求、检验规则、型式试验、标志、包装、运输及贮存的要求,描述了试验方法、分析方法与测定结果评价。本文件适用于沉积二氧化硅的电子级正硅酸乙酯。
Basic information
Standard No：GB/T 43965-2024
Standard Name：电子级正硅酸乙酯
English Name：Electronic grade ethyl orthosilicate
Standard Status：现行
Release Date：2024-04-25
Effective Date：2024-11-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：31.030
CCS Number：L90
Related Standards
Referenced Standards：GB 190,GB/T 191,GB/T 2828.1,GB/T 3143,GB/T 3723,GB/T 5099(所有部分),GB/T 6680,GB/T 7144,GB/T 11446.1,GB/T 14193,GB 15258,GB/T 16804,GB/T 25915.1,GB/T 26793,GB/T 33145,GB/T 37837,SJ/T 11637,SJ/T 11638,TSG 23
Publication Information
Number of pages：20
Number of words：23 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2024-04-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：43965
Drafter：孙猛、金向华、赵俊莎、肖俊平、李楷东、吴怡然、曹可慰、赵斌、陶刚义、孙明璐、陈德义、冯琼华、向冲、王成、黄天次、万烨、张园园、郭树虎、戈士勇、戈烨铭、何珂、李冲合、甘俊、陈道伟、张明英
Drafting Organization：金宏气体股份有限公司、湖北新蓝天新材料股份有限公司、武汉新硅科技潜江有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、南大光电半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、浙江中宁硅业股份有限公司、内蒙古兴洋科技股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、江阴润玛电子材料股份有限公司、浙江衢州硅宝化工有限公司、湖北江瀚新材料股份有限公司、浙江开化合成材料有限公司、广州赛西标准检测研究院有限公司
Management Organization：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
Proposing Department：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
