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Microbeam analysis—Electron probe microanalysis—Quantitative point analysis for bulk specimens using wavelength dispersive X-ray spectroscopy
Standard in brief
Scope of Application：
本文件规定了应用电子探针显微分析仪或者安装在扫描电镜（SEM）的波谱仪（WDS），通过电子束与试样相互作用产生的X射线对试样微米尺度体积内的元素进行定量分析的要求。
本文件还包括如下内容：
——定量分析原理；
——本方法涉及的元素、质量分数和标准物质的一般范围；
——仪器的一般要求；
——有关试样制备、实验条件选择、分析测量和报告等基本过程。
本文件适用于电子束垂直入射到表面平滑、均匀的块状试样的定量分析。对仪器和数据处理软件没有特殊的要求。使用者宜从仪器制造厂家获得仪器安装条件、详细的操作程序及仪器规格等信息。
Basic information
Standard No：GB/T 28634-2025
Standard Name：微束分析 电子探针显微分析 块状试样波谱法定量点分析
English Name：Microbeam analysis—Electron probe microanalysis—Quantitative point analysis for bulk specimens using wavelength dispersive X-ray spectroscopy
Standard Status：现行
Release Date：2012-07-31
Effective Date：2025-11-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：71.040.99
CCS Number：G04
Related Standards
Referenced Standards：GB/T 27025-2019,ISO 14594,ISO 14595
Adopted Standards：ISO 22489: 2016
Adopted Standard Name：《微束分析 电子探针显微分析 块状试样波谱法定量点分析》
Adoption Level：IDT
Publication Information
Number of pages：20
Number of words：23 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2025-04-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：28634
Drafter：曾毅、李香庭、彭帆
Drafting Organization：中国科学院上海硅酸盐研究所
Management Organization：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
Proposing Department：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
