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Test method for thickness of epitaxial layers and diffused layers by angle lap stain
Standard in brief
Scope of Application：
本标准规定了测定硅外延层和扩散层厚度的磨角染色法。
本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量，测量范围为1 μm～100 μm。
Basic information
Standard No：YS/T 15-2015
Standard Name：硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法
English Name：Test method for thickness of epitaxial layers and diffused layers by angle lap stain
Standard Status：现行
Release Date：1991-01-01
Effective Date：2015-10-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：77.040
CCS Number：H21
Related Standards
Referenced Standards：GB/T 1550,GB/T 6617-2009,GB/T 14146,GB/T 14264,GB/T 14847
Publication Information
Number of pages：8
Number of words：10 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2015-12-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：中华人民共和国工业和信息化部
Standard Type：QT
Standard Attribute：YS
Other Standard Number：15
Drafter：马林宝、杨帆、葛华、孙燕、徐新华
Drafting Organization：南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
Management Organization：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
Proposing Department：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
