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Surface chemical analysis—Atomic force microscopy—Procedure for in situ characterization of AFM probe shank profile used for nanostructure measurement
Standard in brief
Scope of Application：
本文件规定了用于表征AFM探针形状，特别是柄和近尖端轮廓的两种方法。这两种方法分别通过将AFM探针尖轮廓投影到指定平面上，或者在确定的操作条件下将探针柄的特征投影到该平面上来实现。其中，后一种方法可以给出探针用于狭窄沟槽和类似轮廓结构的深度测量时的有效性。本文件适用于半径大于5u0的探针，其中u0是用于表征探针的参考样品脊形结构宽度的不确定度。
Basic information
Standard No：GB/T 45770-2025
Standard Name：表面化学分析 原子力显微术 用于纳米结构测量的原子力显微镜探针柄轮廓原位表征程序
English Name：Surface chemical analysis—Atomic force microscopy—Procedure for in situ characterization of AFM probe shank profile used for nanostructure measurement
Standard Status：现行
Release Date：2025-06-30
Effective Date：2026-01-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：71.040.40
CCS Number：G04
Related Standards
Referenced Standards：ISO 18115-2,ISO/TS 80004-4
Adopted Standards：ISO 13095:2014
Adopted Standard Name：《表面化学分析 原子力显微术 用于纳米结构测量的原子力显微镜探针柄轮廓原位表征程序》
Adoption Level：IDT
Publication Information
Number of pages：28
Number of words：43 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2025-06-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：45770
Drafter：沈轶、孙洁林、蔡潇雨、李源、胡钧、李适、马志超、王春梅
Drafting Organization：上海交通大学、上海市计量测试技术研究院、上海大学、中国计量科学研究院、吉林大学、南京景曜智能科技有限公司
Management Organization：全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC 608)
Proposing Department：全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC 608)
