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Surface chemical analysis—Depth profiling—Non-destructivedepth profiling of nanoscale heavy metal oxide thin films onSi substrates with medium energy ion scattering
Standard in brief
Scope of Application：
本文件描述了使用中能离子散射术（MEIS）对硅基底上无定形重金属氧化物超薄膜进行定量深度剖析的方法。
Basic information
Standard No：GB/T 47073-2026
Standard Name：表面化学分析 深度剖析 中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度剖析
English Name：Surface chemical analysis—Depth profiling—Non-destructivedepth profiling of nanoscale heavy metal oxide thin films onSi substrates with medium energy ion scattering
Standard Status：现行
Release Date：2026-01-28
Effective Date：2026-08-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：71.040.40
CCS Number：G04
Related Standards
Referenced Standards：ISO 18115-1:2013,ISO 18115-2:2013
Adopted Standards：ISO 23170:2022
Adopted Standard Name：《表面化学分析 深度剖析 中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度剖析》
Adoption Level：IDT
Publication Information
Number of pages：36
Number of words：54 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2026-01-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：47073
Drafter：邱丽美、范燕、王海、侯俊先、武春霞、忻睦迪、徐鹏
Drafting Organization：中石化石油化工科学研究院有限公司、季华实验室、中国计量科学研究院、河北工程大学、国家纳米科学中心
Management Organization：全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC 608)
Proposing Department：全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC 608)
