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Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application
Standard in brief
Scope of Application：
本文件描述了在环境应力(温度和湿度)、机械应力和应变下，评估MEMS压电薄膜材料耐久性的试验方法，以及用于质量评估的试验条件。本文件具体描述了在温度、湿度条件和外加电压下测量被测器件耐久性的试验方法和试验条件。
本文件适用于评估MEMS压电薄膜材料的耐久性和质量，也适用于评估在硅衬底上形成的压电薄膜的正压电性能，例如用作声学传感器或悬臂式传感器的压电薄膜。
本文件不包括可靠性评估，如基于威布尔分布预测压电薄膜寿命的方法。
Basic information
Standard No：GB/T 44513-2024
Standard Name：微机电系统(MEMS)技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法
English Name：Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application
Standard Status：现行
Release Date：2024-09-29
Effective Date：2025-01-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：31.080.99
CCS Number：L59
Related Standards
Referenced Standards：IEC 62047-30,GB/T 2423.22-2012
Adopted Standards：IEC 62047-37:2020
Adopted Standard Name：《半导体器件 微机电器件 第37部分:传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法》
Adoption Level：IDT
Publication Information
Number of pages：20
Number of words：23 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：Yes
Print Publication Date：2024-09-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：44513
Drafter：陈立国、江大白、李根梓、刘会聪、蒋礼平、刘胜、方东明、夏长奉、王冰、周维虎、许宙、钟鸣、张硕、孙旭辉、夏燕、娄亮、程新利、杨剑宏、陈志文、张中飞、胡增、商艳龙、王阳俊、高峰、卢弈鹏、袁长作、仲胜利、李海全、钱勇国
Drafting Organization：昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、中用科技有限公司、中机生产力促进中心有限公司、苏州大学、成都航天凯特机电科技有限公司、武汉大学、北京智芯微电子科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司、昆山双桥传感器测控技术有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、中国科学院微电子研究所、重庆宸硕测控技术有限公司、苏州市质量和标准化院、苏州慧闻纳米科技有限公司、上海新微技术研发中心有限公司、苏州科技大学、苏州晶方半导体科技股份有限公司、太原航空仪表有限公司、山东中科思尔科技有限公司、明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司、河北初光汽车部件有限公司、广东润宇传感器股份有限公司、芜湖乐佳电器有限公司
Management Organization：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
Proposing Department：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
