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Micro-electromechanical system(MEMS) technology—Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film
Standard in brief
Scope of Application：
本文件描述了用于压电式微传感器和微执行器等器件的压电薄膜机电转换特性测量方法。
本文件适用于MEMS工艺制备的压电薄膜。
Basic information
Standard No：GB/T 44515-2024
Standard Name：微机电系统(MEMS)技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法
English Name：Micro-electromechanical system(MEMS) technology—Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film
Standard Status：现行
Release Date：2024-09-29
Effective Date：2025-01-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：31.080.99
CCS Number：L59
Related Standards
Adopted Standards：IEC 62047-30:2017
Adopted Standard Name：《半导体器件 微机电器件 第30部分:MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法》
Adoption Level：IDT
Publication Information
Number of pages：20
Number of words：29 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2024-09-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：44515
Drafter：王永胜、张红宇、安志武、李根梓、张菁华、孙立宁、苏翼、张新伟、李拉兔、刘会聪、邢文忠、徐堃、毛志平、路文一、单伟中、许克宇、王志广、汤一、要彦清、娄亮、郑冬琛、陈得民、姚鹏、胡晓东、卢弈鹏、袁长作、仲胜利、侯杰、陈福操、李树成、王志宏
Drafting Organization：北京自动化控制设备研究所、安徽奥飞声学科技有限公司、芯联集成电路制造股份有限公司、中机生产力促进中心有限公司、苏州大学、无锡华润上华科技有限公司、太原航空仪表有限公司、中国航天科工飞航技术研究院、山东中康国创先进印染技术研究院有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、北京遥测技术研究所、西安交通大学、北京晨晶电子有限公司、上海新微技术研发中心有限公司、天津新智感知科技有限公司、上海芯物科技有限公司、天津大学、北京大学、河北初光汽车部件有限公司、共达电声股份有限公司、河南芯睿电子科技有限公司、广东润宇传感器股份有限公司、华景传感科技(无锡)有限公司
Management Organization：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
Proposing Department：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
