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High-purity cobalt sputtering target used in electronic film
Standard in brief
Scope of Application：
本标准规定了电子薄膜用高纯钴靶材(以下简称高纯钴靶)的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容。
本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。
Basic information
Standard No：YS/T 1053-2015
Standard Name：电子薄膜用高纯钴靶材
English Name：High-purity cobalt sputtering target used in electronic film
Standard Status：现行
Release Date：2015-04-30
Effective Date：2015-10-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：77.150.70
CCS Number：H62
Related Standards
Referenced Standards：GB/T 1804,GB/T 2828.1,GB/T 6394,GB/T 8651,GB/T 14265,YS/T 837,YS/T 1011
Publication Information
Number of pages：16
Number of words：22 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2016-01-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：中华人民共和国工业和信息化部
Standard Type：QT
Standard Attribute：YS
Other Standard Number：1053
Drafter：王学泽、李勇军、郑文翔、罗俊锋、袁海军、熊晓东、陈勇军、刘丹、陆彤、袁洁、张涛
Drafting Organization：宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司
Management Organization：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
Proposing Department：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
