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Optical functional films—Measurement method for microstructure thickness
Standard in brief
Scope of Application：
本文件描述了通过扫描电子显微镜(SEM)检测光学功能薄膜(以下简称薄膜)横截面微结构厚度(以下简称横截面厚度)的方法。
本文件适用于厚度不小于50 nm的光学功能薄膜的单层或多层结构的厚度测试。
Basic information
Standard No：GB/T 42674-2023
Standard Name：光学功能薄膜 微结构厚度测试方法
English Name：Optical functional films—Measurement method for microstructure thickness
Standard Status：现行
Release Date：2023-08-06
Effective Date：2024-03-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：71.080.99
CCS Number：G15
Related Standards
Referenced Standards：GB/T 27788,GB/T 33376
Adopted Standards：ISO 9220:2022
Adopted Standard Name：《金属镀层 镀层厚度 扫描电镜测试法》
Adoption Level：NEQ
Publication Information
Number of pages：12
Number of words：12 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2023-08-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：42674
Drafter：夏江南、高建辉、姜宁、赵朔、田坤、韩明星、程媛、李宗、刘玉磊、刘文亮、姚一凡、李文沾、赵建明、曹建、周鹏、罗惠滨
Drafting Organization：中国乐凯集团有限公司、合肥乐凯科技产业有限公司、衡山县佳诚新材料有限公司、浙江耀阳新材料科技有限公司、深圳市纵横标准技术有限公司、凯鑫森(上海)功能性薄膜产业股份有限公司、东莞市光志光电有限公司
Management Organization：全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会(SAC/TC 431)
Proposing Department：中国石油和化学工业联合会
