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Polished reclaimed silicon wafers
Standard in brief
Scope of Application：
本标准规定了硅抛光回收片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于用户提供的或来源于第三方的硅回收片(主要包括100 mm、125 mm、150 mm和200 mm单面或双面抛光硅片、未抛光硅片或外延硅片)经单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于机械、炉处理、颗粒和光刻中的监控片。另外使用方需注意硅回收片的热历史、体沾污和表面沉积物情况。
Basic information
Standard No：YS/T 985-2014
Standard Name：硅抛光回收片
English Name：Polished reclaimed silicon wafers
Standard Status：现行
Release Date：2014-10-14
Effective Date：2015-04-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：29.045
CCS Number：H80
Related Standards
Adopted Standards：SEMI M38-0307
Adopted Standard Name：《硅抛光回收片规范》
Adoption Level：MOD
Publication Information
Number of pages：16
Number of words：22 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2015-02-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：中华人民共和国工业和信息化部
Standard Type：QT
Standard Attribute：YS
Other Standard Number：985
Drafter：何良恩、刘丹、许峰、张海英、孙燕、曹孜、王飞尧、楼春兰、徐新华
Drafting Organization：浙江金瑞泓科技股份有限公司
Management Organization：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
